Il NANO-anemometro a filo caldo (NSTAP- Nanoscale Thermal Anemometry Probe) è uno strumento che sfrutta la fisica dell'anemometro termico ma l'elemento sensibile misura circa 60 μm, un ordine di grandezza in meno rispetto allo strumento tradizionale. La sua produzione è la conseguenza dell’avanzare inesorabile del processo tecnologico e della conoscenza dei materiali. La creazione di questo strumento è basata su vari step, in alcuni di questi la chimica ha un ruolo fondamentale come l’ossidazione, la fotolitografia e l’attacco chimico ed in altri ha un ruolo secondario come la deposizione metallica con evaporatore a fascio d’elettroni (EBPVD), la fresatura con fascio ionico focalizzato (FIB) e la microlavorazione con laser di precisione (PLM - Precision Laser Micromachining).
Creazione di un NSTAP e i vari processi utilizzati
Sitografia:
Immagine e fonte prese il 31/12/2020 in:
https://spikelab.mycpanel.princeton.edu/papers/041.pdf
Altre fonti:
https://www.slideshare.net/davidecamm/hot-wire-anemometer-microfabrication
Approfondimenti:
http://fluids.princeton.edu/pubs/Fan_et_al_2015.pdf
[Tutti i link controllati e funzionanti il 13 Gennaio 2020]
Nessun commento:
Posta un commento